fendus Vannes
La vanne à fente de la série XGT convient à la vanne de séparation entre le sas de charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de traitement dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, etc.
XGT *, à vide élevé Slit Valve
Les vannes fendues de la série XGT peuvent être employées avec la vanne de cloisonnement entre la chambre de verrouillage de la charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans les appareils de fabrication de semi-conducteurs, etc.- Longue durée de vie: 3 millions de cycles (dans la plage de température standard)
- Faible génération de particules: réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit actuel)
- Maintenance simplifiée
- Remplacement facile du soufflet
- Le portail peut être remplacé par le haut (sur commande)
- Mesures de sécurité
- A mécanique le mécanisme de verrouillage d'extrémité a été adopté
XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle
Série XGTP fente fonctions de valve de portail entre les chambres de matériel semi-conducteur. positions typiques incluent entre la chambre de transfert et la chambre de sas de chargement ou de transfert et les chambres de traitement. Le XGTP a été conçu pour faciliter la maintenance, y compris l'accès facile à remplacer le soufflet de l'actionneur ou la porte. Faible génération de particules et un cycle de 3 millions de survie sevice productivité élevée des outils semi-conducteurs.
- Grande durée de vie: 3 million cycles.
- Faible génération de particules: Réduction de 1/5 min.
- Soufflet remplaçable.
- Verrouillage mécanique d'extrémité.
- Réduction de la consommation d'air de 22%.
Modèles de produits et CAO
- Actionneurs
- Vannes de commande directionnelles
- Équipement compagnie aérienne
- Sécheurs d'air & Main Line Filtres
- Connecteurs
- Produits à vide
- Communication industrielle
-
Capteurs et commutateurs
- Sensors Switches Controllers
- Capteurs de pression positive
- Capteurs de pression sous vide et le composé
- Capteurs Débit d'air
- Air Management System
- Liquides dispositifs de débit
- Commutateurs Auto
- Les régulateurs électroniques
- Régulateur de débit pour l'eau
- Air Flow Controllers
- Temperature & Humidity Sensors
- Procédé de fluide
- Elimination élect. Statique
- Actionneurs électriques
- refroidisseurs
- Processus Matériel de gaz
- Vide élevé
- Produits haute pureté
- Cobot Gripping Solutions
- Batterie secondaire