XL
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
XLA, Angle Aluminium à vide élevé Valve, Normalement fermé / Joint Soufflet
Série XLA sont des vannes d'angle à vide élevé pour une utilisation dans des applications industrielles utilisant des gaz élevés de vide et de processus. & Nbsp; industries communes qui peuvent utiliser ces valves d'angle comprennent semi-conducteurs, la production solaire et d'autres electonics, ainsi que l'industrie alimentaire et pharmaceutique. & Nbsp; vannes de XLA sont à simple effet, normalement fermé, avec un soufflet d'étanchéité sur l'arbre et le ressort. & Nbsp; Le vavle ouvre lorsque la pression est appliquée au port pilote. & Nbsp; Le montage soufflet peut être remplacé, ce qui réduit les coûts d'entretien et de déchets. & Nbsp; Le corps de vanne est anodisé dur aluminium A6063, avec 304 soupapes en acier inoxydable et soufflets. & Nbsp; matériaux d'étanchéité nombreux sont disponibles pour une large gamme de compatibilité chmical .
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
XL * V-2, Aluminium High Vacuum Angle Valves, Pneumatiques w / Electrovanne
Series XLAV is a high vacuum angle valve for use in industrial applications employing high vacuum and process gases. Common industries that may use these angle valves include semiconductor, solar and other electronics production, as well as food and pharmaceutical manufacturing. XLAV valves are single-acting, normally closed, with a bellows seal over the shaft and spring. The bellows assembly can be replaced, reducing maintenance costs and waste materials.
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
TGR, Aluminium à vide élevé Angle Valve, double effet, joint torique Joint
XLG est une double valve d'angle de vide élevé agissant avec un joint d'étanchéité d'arbre joint torique. Les actions de la famille XL * caractéristiques communes avec tous les membres de la série. Les corps sont réalisés en aluminium pour un poids léger et une excellente conductivité thermique, ce qui entraîne une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape. Le corps offre une excellente résistance à la corrosion du fluor. Un faible rendement de pulvérisation cathodique et l'absence de métaux lourds d'éviter toute contamination de la plaquette
- La pression d'air appliquée à la vanne couplée à piston de décalages de port pilote
- De nombreuses pièces d'entretien disponible pour prolonger la vie utile de la vanne
- joints standard FKM, plus 8 composé d'étanchéité supplémentaire Options
- bascule automatique pouvant être monté à partir de 4 directions
- facultatif 100 ° C et 150 ° C (appareils de chauffage de fil de plomb conforme UL)
XL *, à vide élevé Angle Valve, Air Operated
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XL * V, à vide élevé angle Vannes, pneumatique à w / Electrovanne
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLF, Aluminium à vide élevé Angle Valve, normalement fermé, le joint torique Joint
XLF est normalement fermé, à simple effet valve d'angle de vide élevé avec un arbre joint torique d'étanchéité. & Nbsp; Les actions de la famille XL * caractéristiques communes avec tous les membres de la série. & Nbsp; Les corps sont réalisés en aluminium pour un poids léger et une excellente conductivité thermique, ce qui entraîne une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape. & Nbsp; Le corps offre une excellente résistance à la corrosion du fluor. & Nbsp; Un faible rendement de pulvérisation cathodique et l'absence de métaux lourds d'éviter toute contamination de la plaquette
& nbsp;.
- La pression d'air appliquée à des changements de port pilote ouvre la vanne couplée piston-
- De nombreuses pièces d'entretien disponible pour prolonger la vie utile de la vanne
- joints standard FKM, plus 8 joint supplémentaire options de composés
- Auto commutateurs pouvant être monté à partir de 4-directions
- facultatif 100 & deg; C Ã 150 & deg; chauffe-C (fil conducteur conforme UL)
& nbsp ;
XLFV, Aluminium High Vacuum Angle Valve, normalement fermé, le joint torique avec Seal Electrovanne
Série XLFV est une vanne d'angle de vide élevé pour une utilisation dans des applications industrielles en utilisant un vide poussé et des gaz de traitement. & Nbsp; industries communes qui peuvent utiliser cette vanne d'angle comprennent semi-conducteurs, la production solaire et autres appareils électroniques, ainsi que la fabrication alimentaire et pharmaceutique. & nbsp; Les vannes de XLFV sont à simple effet, normalement fermé. & Nbsp; Le ressort d'un arbre sont exposés à l'écoulement de gaz, mais une raclette et un joint torique sceller le volume de pression de piston à partir de gaz de traitement. & Nbsp; Le XLFV ouvre lorsque la pression est appliquée à l'orifice de pilotage, qui est commandé par un corps monté électrovanne. & Nbsp; Le corps de soupape est en aluminium anodisé dur A6063, avec 304 valves en acier inoxydable et un ressort d'acier plaqué nickel autocatalytique. & Nbsp; Le soufflet de XLFV sont en acier inoxydable 316L. & Nbsp;
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
- Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
- Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
- Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard
XLH, manuel à vide élevé Angle Valve, joint à soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Vanne coudée pour vide élevé
- Type : manuel, joint de soufflet de protection
- Taille de la bride : 16 ~ 50
- Détection thermique : H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
- Non compatible avec les détecteurs
XLC, Angle Aluminium à vide élevé Valve, double effet, joint à soufflet
XLC est une vanne d'angle à vide poussé à double effet avec un joint à soufflet pour l'arbre. La famille XL * partage des caractéristiques communes avec tous les membres de la série. Les corps sont en aluminium pour une conductivité thermique légère et excellente, résultant en une température uniforme pour tout le corps de vanne. Le corps offre une excellente résistance à la corrosion du fluor. Un faible rendement de pulvérisation et l'absence de métaux lourds évitent la contamination des plaquettes.
- La pression d'air appliquée à l'orifice pilote déplace la valve couplée par piston < li> Les soufflets remplaçables réduisent les coûts de maintenance et les déchets
- Pièces de maintenance supplémentaires disponibles pour prolonger la durée de vie utile de la vanne
- Joints FKM standard, plus 8 options de composés d'étanchéité supplémentaires
- Interrupteurs automatiques montables dans 4 directions
- Réchauffeurs 100 ° C et 150 ° C en option (fil conducteur conforme UL)
& nbsp;
XL * Q, à vide élevé Angle Valve, Aluminium monotouche Connection & Release
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Connexion et relâchement instantanés, ne nécessite aucun outil
- Léger et compact
- Fonction de commutation automatique
- XLAQ: joint à soufflet à simple effet, normalement fermé
- XLAQ: les tailles de bride sont 16, 25, 40, 50
- XLDQ: contrôle en 2 temps, simple effet
- XLDQ: les tailles des brides sont 40, 50
XLJ, Vide Angle Valve w / sortie Valve
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Compatible avec des gaz inertes
- tailles de brides: 25 et 40
- plage de pression de fonctionnement: atmosphérique à 0,01 Pa
- Température de fonctionnement: 5- 40 ° C
- options de tension: (100, 110, 200, 220, 230, 240) ACC; (12, 24) VDC