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Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.
AZ1000, un seul étage régulateur, à faible débit intermédiaire w / option Bonnet Port
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: max. 3500 psig (24,1MPa)
- Capacité de débit: standard à 30 sipm; HF (option) à 120 sipm
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Applications au niveau du point d'utilisation et du cylindre source
AZ1500, un étage régulateur pour ultra haute pureté, à faible débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: max. 3500 psig (24,1MPa)
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Conception à diaphragme lié
AZ1400T, Régulateur étape unique pour ultra haute pureté, débit intermédiaire (ex aequo diaphragme
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: standard max. 2300 psig (15,9MPa); HR (option): max: 3000 psig (20.7MPa)
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ®
- Conception à diaphragme lié
- Option de livraison sous pression atmosphérique
AZ1300, un étage régulateur pour ultra haute pureté, haut débit
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Débit jusqu'à 1000 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Pression d'entrée: max. 300 psig (2,1 MPa)
AZ1200, un étage régulateur, haut débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: Standard max. 1100 MPa (1700 psig); HR (option) max. 3000 psig (20,7 MPa)
- Capacité de débit: standard à 800 slpm; HF (option) à 1000 slpm; FC (opton) à 1500 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Internes Hastelloy disponibles pour la résistance à la corrosion
- Applications au niveau du point d'utilisation et du cylindre source
AZ9200, un étage régulateur pour ultra haute pureté, haut débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Débit jusqu'à 2000 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Pression d'entrée: max. 300 psig (2,1 MPa)
AZ1100, un seul étage Régulateur de livraison de la pression sous-atmosphérique
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Délivrance de pression sub-atmosphérique à faible positive
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Capacité de débit jusqu'à 0.5 slpm